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    奧松電子6英寸MEMS傳感器芯片生產線正式投入運營

    發布時間:2020-09-19 閱讀量:931

    隨著生物醫療、人工智能、物聯網、5G網絡等新興信息技術發展,傳統制造業將會借助于新技術進一步轉型升級。MEMS半導體傳感器芯片在智能物聯網時代中起到核心作用,智能傳感器產業已成為推進傳統工業轉型升級的關鍵,這對粵港澳大灣區、乃至我國的經濟發展、產業結構優化具有重大的戰略意義。



    2020年,廣州奧松電子有限公司6英寸MEMS半導體傳感器芯片生產線正式投入運營,成功量產出溫濕度、流量、氣體、差壓、風速等傳感器芯片,并為部分珠三角客戶提供MEMS半導體芯片代工服務。該生產線的建成投產標志奧松電子成為華南地區領先的MEMS半導體傳感器芯片生產基地,推動國內、特別是粵港澳大灣區的MEMS半導體傳感器高質量發展奠定了良好的基礎。

     

    奧松電子斥巨資打造MEMS半導體芯片生產線,一期工程凈化車間總面積約2500平方米,配置濕法清洗區、百級潔凈度光刻區、千級潔凈度鍍膜區、千級潔凈度刻蝕區、千級潔凈度離子注入區及參觀通道等。整個潔凈車間安裝了多套高性能風淋系統,對進入潔凈間的員工或者貨物進行徹底風淋除塵。


    該生產線一期工程于2019年3月立項,2019年6月正式進入施工階段。經過6個月的施工,生產線的基礎設施已安裝完成。2020年,多臺步進式投影光刻機、雙面光刻機、涂膠顯影機、深硅刻蝕機、大束流離子注入機、PECVD、LPCVD、氧化爐、磁控濺射機、探針臺、應力測試儀、全自動RCA清洗機等先進的自動化生產設備搬入,生產線正式投入運營。



    奧松電子MEMS半導體生產線一期工程為500納米MEMS半導體工藝制程,生產設備約占整個投資規模的70%。一期工程已成功量產出溫濕度傳感器、空氣質量傳感器、氣體傳感器、流量傳感器、差壓傳感器等多款優質的芯片產品。根據規劃,2021年二期工程將建成350納米制程工藝MEMS半導體生產線;2022年三期工程將建成180納米制程工藝MEMS半導體生產線;總項目全部建成投產后,每月流片規模將達到4萬片,滿足奧松電子自身需求及粵港澳大灣區各類MEMS半導體芯片的代工需求。


    隨著物聯網時代的到來,珠三角經濟區作為中國最重要的制造基地之一,一直走在時代的前列。《粵港澳大灣區發展規劃綱要》政策落實后,廣州作為廣東省省會城市和經濟中心、一帶一路新亞歐大陸經濟走廊主要節點城市和海上合作戰略支點,優勢地位不斷得到提升。奧松電子立足廣州,在MEMS半導體傳感器領域打破了國外企業的壟斷,實現國產替代進口,勇擔歷史使命,為粵港澳大灣區建設貢獻自己的一份力量。


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